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渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)。渦輪分子泵可以串聯(lián)干式機械泵組成無油超高真空系統(tǒng),不烘烤可以實現(xiàn)10-6Pa的真空度,經(jīng)烘烤可以達到10-8Pa的真空度。如果串聯(lián)擴散泵作為前級泵,降低前級管道中的氫分壓,配合鈦升華阱可以獲得高于10-9Pa以上的真空度。由于渦輪分子泵內(nèi)表面積大,因此烘烤除氣是非常必要的,但烘烤溫度一般只允許到100℃左右。進口真空泵維修
停止或啟動時發(fā)出巨大噪音
原因:電機供電電壓不足;電機缺相運行;泵長期未使用,造成腐蝕;泵吸收雜質(zhì);葉輪拉動分配板。
故障排除:檢查電源電壓是否過低;檢查電機接線是否牢固;如果泵長時間不使用,可以添加除銹劑或打開泵蓋進行除銹;打開泵蓋清除雜質(zhì);調(diào)整葉輪和分配板之間的距離。進口真空泵維修
在分子流動范圍內(nèi)(即在壓力低于 10-3毫巴 (0.75 x 10-3Torr)) 氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距(通常為零點幾毫米)。進口真空泵維修,相應(yīng)地,分子主要與光學致密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞,從而產(chǎn)生高*的泵送作用。在層流(恒定)流量范圍內(nèi)(即壓力超過 10-1毫巴 (0.75 x 10-1Torr))轉(zhuǎn)子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。
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8、在真空鍍膜生產(chǎn)設(shè)備設(shè)計之初,*發(fā)者總是需要思考如何在商業(yè)成本和技術(shù)的需要之間尋找一個平衡點。如果真空技術(shù)在設(shè)計之初沒有被充分考慮進去的話,那么在后期的開發(fā)中將會出現(xiàn)一些問題。導致對現(xiàn)有系統(tǒng)的后續(xù)糾正措施無法落地,并且會帶來計劃外的成本。我們的*家將為您提供在鍍膜機中正確集成真空設(shè)備切實可行的辦法。二手化工泵維修
真空泵吸力不足的解決方法:
1、打開加油口、再打開放油閥,這時真空泵內(nèi)的泵油大部分都能被排出,然后關(guān)閉加油口和放油閥。
2、真空泵的吸氣口向大氣開放,空轉(zhuǎn)5秒,缸體內(nèi)的剩余泵油容易被排出。
3、打開加油口,再打開放油閥,然后排出泵油。
4、關(guān)閉放油閥,把*定的新油按規(guī)定量從加油口注入。二手化工泵維修
5、若是真空泵內(nèi)的油污染嚴重的話,則需要加上少量新的泵油,再通過運行使其清洗干凈。
6、換上新泵油后,讓真空泵開始運轉(zhuǎn),等溫度長高后再確認其極限壓力。二手化工泵維修
7、若是污染極為嚴重,則說明真空泵底部油渣堆積很多,若是出現(xiàn)這種情況則需要進行分解清理,才能清理掉底部的油渣
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分子泵應(yīng)用常見問題:
1、分子泵運行以前請確定分子泵安裝妥當,電纜恰當聯(lián)接并確定處在卡緊情況。
2、分子泵在接電源后及一切正常運行時旋轉(zhuǎn)工件是由磁場力支撐點飄浮的,請盡.量不必碰觸泵殼及控制板,非常是電纜,肯定不可以碰觸。
電壓的不穩(wěn)定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。
間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達3450~4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);極限真空:單級為6.5×10-2帕,雙級為1×10-3帕。真空渦輪分子泵維修
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